PURERON - 통기용 가스필터
가격문의(상세정보 참조)
반도체 제조 장치의 로드록 챔버 및 이송 챔버에서 진공 파괴 시 발생하는 파티클 권상과 난류를 방지하기 위한 통기용 필터입니다. 슬로벤트 없이 빠른 통기가 가능하여 스루풋을 대폭 향상시키며, 전 재질 SUS316L 채용으로 높은 내열성과 여과 정밀도를 실현하는 가스솔루션입니다.
제품 내용
제조사 : PURERON
제품 유형 : 통기용 가스필터 FBA / FBAX 시리즈
주요 특징
슬로벤트 불필요
종래의 슬로벤트 방식을 대체하여 빠른 통기를 실현하며, 스루풋을 대폭 향상시킵니다.
SUS316L 전재질 채용
모든 구성 부재에 SUS316L을 사용하여 내식성과 청정성을 확보합니다.
높은 내열성
최고 사용 온도 및 베이킹 온도 400℃에 대응합니다.
고여과 정밀도
여과 정밀도 0.003μm/0.0015μm로 챔버 내 파티클 부착 및 웨이퍼 손상을 방지합니다.
모델 라인업
FBA/FBAX 시리즈 — 여과 정밀도 0.003/0.0015μm, 통기용 콥 형상 필터
제품 관련 문의 사항은 홈페이지 온라인 문의를 활용해 주시기 바랍니다.
제품 내용
제조사 : PURERON
제품 유형 : 통기용 가스필터 FBA / FBAX 시리즈
주요 특징
슬로벤트 불필요
종래의 슬로벤트 방식을 대체하여 빠른 통기를 실현하며, 스루풋을 대폭 향상시킵니다.
SUS316L 전재질 채용
모든 구성 부재에 SUS316L을 사용하여 내식성과 청정성을 확보합니다.
높은 내열성
최고 사용 온도 및 베이킹 온도 400℃에 대응합니다.
고여과 정밀도
여과 정밀도 0.003μm/0.0015μm로 챔버 내 파티클 부착 및 웨이퍼 손상을 방지합니다.
모델 라인업
FBA/FBAX 시리즈 — 여과 정밀도 0.003/0.0015μm, 통기용 콥 형상 필터
제품 관련 문의 사항은 홈페이지 온라인 문의를 활용해 주시기 바랍니다.