요소에 PTFE막을 적용한 높은 내식성의 인라인 가스 필터입니다. PTFE 재질의 2층막으로 높은 여과 정밀도와 저압력 손실을 실현하여 사용 지점까지 가스의 순도를 떨어뜨리지 않고 공급 가능한 가스 솔루션입니다.

엘리먼트나 하우징의 재질에 하스테로이®를 채용하여 압력 손실이 지극히 낮고 컴팩트한 사이즈로 보다 고유량의 가스를 처리할 수 있는 가스 솔루션입니다.

반도체 제조 장치의 로드록 챔버 및 이송 챔버에서 진공 파괴 시 발생하는 파티클 권상과 난류를 방지하기 위한 통기용 필터입니다. 슬로벤트 없이 빠른 통기가 가능하여 스루풋을 대폭 향상시키며, 전 재질 SUS316L 채용으로 높은 내열성과 여과 정밀도를 실현하는 가스솔루션입니다.

필터와 개스킷 기능을 동시에 수행하는 하이브리드 구조의 메탈 가스 필터입니다. 기존 배관에 개조 없이 장착 가능하여 설치 비용을 절감할 수 있으며, SUS316L 및 니켈 소재를 채용하여 고온·고압 환경에서도 안정적으로 사용할 수 있는 가스솔루션입니다.

모든 구성 재질에 SUS316L을 채용하여 높은 여과 정밀도와 뛰어난 내열성(400~460℃)을 실현한 올메탈 가스 필터입니다. 부식 및 이차 생성물의 우려가 없으며, 정상류·맥동류 조건에서 안정적인 여과 성능을 발휘해 ULSI 제조 공정 등 고순도 가스 공급이 요구되는 환경에 적합한 가스솔루션입니다.

고여과 정밀도와 높은 내식성을 특징으로 하는 세라믹 소재의 인라인 가스 필터입니다. 가스 배관 시스템 내 파티클을 고수준으로 제거하며 높은 선택성을 실현합니다. 200°C 베이킹이 가능하고 수분(H₂O) 농도를 5ppb 이하로 낮출 수 있어 반도체 제조 공정 등 초고순도 가스 공급이 요구되는 환경에 적합한 가스 솔루션입니다.